（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210040113.5 （22）申请日 2012.02.22 （71）申请人 上海大学
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
（10）申请公布号 CN102534543A
（43）申请公布日 2012.07.04
（72）发明人 朱玉斌;郑逸锋;侯培岩;孙艳涛;侯占杰;田军强;黄芯颖;杨珺 （74）专利代理机构 上海上大专利事务所(普通合伙)
代理人 顾勇华
（51）Int.CI
C23C16/14; C23C16/455; C23C16/52;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种化学气相沉积制备钨的方法及其装置
（57）摘要
本发明涉及化学气相沉积法制备钨的装置
和方法，属于难熔金属加工技术领域。本发明采用六氯化钨固体为反应原料，通过基底自身电阻发热的热辐射使六氯化钨气化发生反应；在反应室的进气、出气端上下各有两个气口，在反应的不同阶段，通过控制气体进出气口的闭合，利用
各气体的不同比重，来达到混合气体及排气的目的；通过控制气体的流量与通入时间来控制反应过程。采用本设备避免了Cl
法律状态
法律状态公告日
2012-07-04 2012-09-05 2014-03-26
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
一种化学气相沉积制备钨的方法及其装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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