专利名称:晶圆级SIP模组结构及其制备方法专利类型:发明专利
发明人:吴政达,陈彦亨,林正忠申请号:CN201911407358.5申请日:20191231公开号:CN111029263A公开日:20200417
摘要:本发明提供一种晶圆级SIP模组结构及其制备方法,包括如下步骤:提供衬底;于衬底上形成导电柱;提供芯片,将芯片贴置于所述衬底上;于衬底上形成第一塑封层;于第一塑封层的上表面形成重新布线层;提供连接器,将连接器贴置于所述重新布线层的上表面;于重新布线层的上表面形成第二塑封层;去除衬底;及于第一塑封层的下方形成焊料凸块。本发明的晶圆级SIP模组结构可以实现正面晶圆作业工艺,均匀性较好;正反两面导通工序简单,可以根据实际需要设定不同尺寸的导电柱;导电柱之间的间隙较小,集成度高;重新布线层可以为多层堆叠结构,可以根据实际需要调整重新布线层中金属线层的层数及厚度。
申请人:中芯长电半导体(江阴)有限公司
地址:214437 江苏省无锡市江阴市长山大道78号
国籍:CN
代理机构:上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人:施婷婷
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