气体分散器[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 206052148 U(45)授权公告日 2017.03.29

(21)申请号 201621087590.7(22)申请日 2016.09.26

(73)专利权人 广东先导稀材股份有限公司

地址 511500 广东省清远市清新县禾云镇

工业区（鱼坝公路旁）(72)发明人 胡丹　朱刘　张贵林　

(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

公司 11227

代理人 李海建(51)Int.Cl.

C23C 16/455(2006.01)C23C 16/34(2006.01)

权利要求书1页 说明书3页 附图1页

(54)实用新型名称

气体分散器(57)摘要

本实用新型公开了一种气体分散器，包括：用于分散气体的分散锥；用于支撑所述分散锥的支架。在制备氮化硼坩埚的过程中，使分散锥的锥尖正对进气管的出气口，这样从进气管出来的原料气体在上升的过程中遇到分散锥后，会沿着分散锥的锥面向四周分散喷射，这样就避免了现有技术中进气管中的原料气体仅朝一个方向喷射的弊端，经分散锥分散的气体会在炉体内均匀喷射，这样就提高了氮化硼坩埚厚度的均匀性，从而提高了氮化硼坩埚的质量。

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权　利　要　求　书

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1.一种气体分散器，其特征在于，包括：用于分散气体的分散锥；用于支撑所述分散锥的支架。

2.根据权利要求1所述的气体分散器，其特征在于，还包括连接于所述分散锥的圆形底面的连接筒，所述连接筒与所述支架连接。

3.根据权利要求2所述的气体分散器，其特征在于，所述连接筒远离所述分散锥的端部具有圆弧倒角。

4.根据权利要求2所述的气体分散器，其特征在于，所述支架包括：穿设于所述连接筒内的横杆；纵杆，所述横杆的两端分别插入一个所述纵杆内。5.根据权利要求4所述的气体分散器，其特征在于，所述横杆包括成上下交叉布置的两根。

6.根据权利要求4所述的气体分散器，其特征在于，所述横杆上具有一对相对设置的扳手平面。

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说　明　书气体分散器

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技术领域[0001]本实用新型涉及化学气相沉积领域，更具体地说，涉及一种气体分散器。背景技术[0002]氮化硼坩埚的制备通常采用化学气相沉积法，原料气体通过进气管进入到炉体内，沉积在炉体内的模具上，最终形成氮化硼坩埚。在制备的过程中，从进气管出来的原料气体只能朝一个方向喷射，这就导致原料气体在炉体内喷射不均匀，进而导致氮化硼坩埚的厚度不均，严重影响氮化硼坩埚的质量。[0003]因此，如何设计一种气体分散器，该气体分散器能够使原料气体在炉体内均匀喷射，从而提高氮化硼坩埚厚度的均匀度，进而提高氮化硼坩埚的质量，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。

实用新型内容[0004]本实用新型的目的是提供一种气体分散器，该气体分散器能够使原料气体在炉体内均匀喷射，从而提高氮化硼坩埚厚度的均匀度，进而提高氮化硼坩埚的质量。[0005]为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：[0006]一种气体分散器，包括：[0007]用于分散气体的分散锥；[0008]用于支撑所述分散锥的支架。[0009]优选地，还包括连接于所述分散锥的圆形底面的连接筒，所述连接筒与所述支架连接。[0010]优选地，所述连接筒远离所述分散锥的端部具有圆弧倒角。[0011]优选地，所述支架包括：[0012]穿设于所述连接筒内的横杆；[0013]纵杆，所述横杆的两端分别插入一个所述纵杆内。[0014]优选地，所述横杆包括成上下交叉布置的两根。[0015]优选地，所述横杆上具有一对相对设置的扳手平面。[0016]从上述技术方案可以看出，本实用新型中的气体分散器包括分散锥和用于支撑分散锥的支架。在制备氮化硼坩埚的过程中，使分散锥的锥尖正对进气管的出气口，这样从进气管出来的原料气体在上升的过程中遇到分散锥后，会沿着分散锥的锥面向四周分散喷射，这样就避免了现有技术中进气管中的原料气体仅朝一个方向喷射的弊端，经分散锥分散的气体会在炉体内均匀喷射，这样就提高了氮化硼坩埚厚度的均匀性，从而提高了氮化硼坩埚的质量。

附图说明[0017]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的方案，下面将对实施例中描述所需要使

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用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0018]图1为本实用新型一具体实施例提供的气体分散器的结构示意图；[0019]图2为图1的主视图。[0020]其中，11为分散锥、12为连接筒、2为横杆、21为扳手平面、3为纵杆。具体实施方式[0021]本实用新型提供了一种气体分散器，该气体分散器能够使原料气体在炉体内均匀喷射，从而提高氮化硼坩埚厚度的均匀度，进而提高氮化硼坩埚的质量。[0022]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0023]请参考附图1-2，在本实用新型一具体实施例中，气体分散器包括分散锥11和支架。分散锥11用于分散气体，支架用于支撑分散锥11。在制备氮化硼坩埚的过程中，使分散锥11的锥尖正对进气管的出气口，这样从进气管出来的原料气体在上升的过程中遇到分散锥11后，会沿着分散锥11的锥面向四周分散喷射，这样就避免了现有技术中进气管中的原料气体仅朝一个方向喷射的弊端，经分散锥11分散的气体会在炉体内均匀喷射，这样就提高了氮化硼坩埚厚度的均匀性，从而提高了氮化硼坩埚的质量。[0024]在本实用新型一具体实施例中，还包括连接筒12，该连接筒12连接于分散锥11的圆形底面，且与分散锥11共轴线。本领域技术人员可以理解的是，圆锥具有一个顶点、一个圆形底面和一个侧面，本实施例中的分散锥11同样具有一个顶点、一个圆形底面和一个侧面。连接筒12与上述中的支架连接。连接筒12可以与分散锥11一体化铸造成型。[0025]在本实用新型一具体实施例中，连接筒12远离分散锥11的一端具有圆弧倒角。本领域技术人员可以理解的是，在制备氮化硼坩埚的过程中，微量的原料气体不可避免地会沉积在气体分散器上，连接筒12上圆弧倒角的设置是为了方便氮化硼沉积物的剥落。[0026]在本实用新型一具体实施例中，支架包括横杆2和纵杆3。横杆2穿设于连接筒12内，横杆2与连接筒12的轴线垂直。纵杆3与连接筒12的轴线平行。横杆2的两端分别插入一个纵杆3内。具体地，纵杆3上可以开设用于插入横杆2的插入孔。本实施例中横杆2与连接筒12为插入式的可拆卸连接，横杆2与纵杆3也为插入式的可拆卸连接，这样就方便了气体分散器的组装和拆卸。[0027]进一步地，在本实用新型一具体实施例中，横杆2包括两根，该两根横杆2成上下交叉布置，或者直接将两根横杆2成上下十字交叉布置，这样就显著提高了支架支撑的稳定性。每一根横杆2对应两根纵杆3，这样，本实施例中的支架包括两根横杆2和四根纵杆3。[0028]在本实用新型一具体实施例中，横杆2上具有一对扳手平面21，该对扳手平面21相对布置。扳手平面21即是方便扳手的夹紧，使用者通过扳手夹住横杆2来实现横杆2的拆卸和安装。[0029]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新

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型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

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图1

图2

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