专利名称：一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法专利类型：发明专利
发明人：高海根,冯定,管锋,吴文秀申请号：CN201510880494.1申请日：20151203公开号：CN105390935A公开日：20160309
摘要：本发明涉及一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法，属于半导体激光器技术领域。本发明通过将外延片经一次光刻、二次光刻和三次光刻后再用四氯化碳，三氯乙烯，丙酮，乙醇将外延片煮沸清洗两遍，再用去离子水冲洗30遍，吹干；最后溅射背面电极AuGeNi/Au，并在420℃条件下快速退火35s，制得带有标记功能的激光器芯片，通过本发明制备的激光器芯片，相对于现有的激光器芯片增加了标记区和辅助块的设计，对外延片质量及芯片良品率进行评估时，只需进行抽样测试即可满足评估要求。该本发明制备的激光器芯片结构简单，大大降低了评估芯片的工作量，而且还提高了产品的使用率，特别适合激光器进行芯片测试、使用的需要。
申请人：长江大学
地址：434020 湖北省荆州市荆州区南环路1号长江大学机械学院
国籍：CN
代理机构：荆州市亚德专利事务所
代理人：周宗扬
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