一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法专利类型：发明专利

发明人：孙本双,何季麟,舒永春,曾学云,陈杰,李庆奎申请号：CN20181018.6申请日：20180621公开号：CN108706965A公开日：20181026

摘要：本发明提供一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法，包括氧化铟粉末、氧化镓粉末和氧化锌粉末球磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆，该料浆中混合粉体的质量含量设置在30％～50％之间；料浆浇注到管状靶材模具，成型脱模，干燥，得到管状靶材素坯；一体化脱脂烧结管状靶材素坯，得到氧化铟镓锌管状靶材。采用脱脂烧结一体化工艺，烧结温度降低，烧结时间大大缩短，实现了快速活化烧结，抑制了晶粒长大，制备的氧化铟镓锌管状靶材的晶粒细小、均匀，平均晶粒度为4μm～5.6μm，致密度高，其相对密度可到99.6％以上，收缩均匀，上下管口尺寸相对收缩差不大于0.5％。

申请人：郑州大学

地址：450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

国籍：CN

代理机构：北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙)

代理人：唐维铁

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