专利名称：一种水蒸气辅助电子束熔炼去除硅中硼的方法专利类型：发明专利
发明人：石爽,李鹏廷,姜大川,张磊,谭毅申请号：CN201810089213.4申请日：20180130公开号：CN108128778A公开日：20180608
摘要：本发明涉及电子束熔炼技术领域，特别涉及一种水蒸气辅助电子束熔炼去除硅中硼的方法。本发明选用多晶硅铸锭/提纯过程产生的顶皮料作为原料，在电子束熔炼过程中，通过引入水蒸气构建温度‑压力‑氧化性的特征环境，使硅熔体中的硼杂质与氧结合形成易挥发物质，从而被蒸发去除，该方法去除硅中硼元素的效果显著，工业化应用前景广阔。
申请人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
地址：266200 山东省青岛市即墨市蓝色硅谷核心区创业中心一期海创中心3号楼A座4-401
国籍：CN
代理机构：大连理工大学专利中心
代理人：梅洪玉
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