一种正性光刻胶剥离液及其制备方法

来源：哗拓教育

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200810019857.2 （22）申请日 2008.03.19 （71）申请人曹学增

地址 215500 江苏省常熟市虞山镇翁府前21号

（10）申请公布号 CN101251722A

（43）申请公布日 2008.08.27

（72）发明人曹学增

（74）专利代理机构南京苏高专利商标事务所

代理人柏尚春

（51）Int.CI

G03F7/42;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种正性光刻胶剥离液及其制备方法

（57）摘要

本发明公开了一种正性光刻胶剥离液，它

是由如下重量百分比的组份组成：脂肪醇聚氧乙烯醚1～5％，环己酮10～15％，其余为单乙醇胺。将上述原料按顺序加入乳化罐，经混合、均质、冷却、排气和过滤后，即可制得。本发明的正性光刻胶剥离液对铝基板无腐蚀，清洗后玻璃表面无残留、无颗粒物质，洁净度好，无毒、无刺激性，易生物降解，易进行废液排放处理。本

发明的正性光刻胶剥离液制备方法工艺简单，产率高，只有少量残渣，能耗低，加工操作简便，易于自动化，无环境污染，经济效益高。

法律状态

法律状态公告日

2008-08-27 2008-10-22 2011-06-29 2015-05-13

法律状态信息

公开

实质审查的生效授权专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效授权专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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